4D-STEM/HRSTEM 客製化分析

利用超高解析度STEM或4D-STEM進行客製化分析。

本服務為客製化分析，負責人將在下單後聯繫您討論詳細分析需求。

可能的客製化分析方向：

• 深原子解析度(<50pm)進行結構鑑定。
• 利用回復相位進行輕原子定位。
• 利用電子偏移進行電性量測。
• 利用繞射點偏移進行應力分析。

目前已有之合作需求：

• 利用超高解析度4D-STEM鑑定輕元素(氧)與離子佈植摻雜元素在第四代半導體氧化鎵磊晶中的原子位置。
• 利用超高解析度4D-STEM解析經典反體電系統在moire超晶格的影響下的原子位移與vortex行為。
• 利用4D-STEM分析長期老化鋁合金之介面與應力分布。
• 利用4D-STEM重複確認PED應力分析量測之正確性。