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四維掃描電鏡實驗室
四維掃描電鏡實驗室
成立緣由
「清華大學工科系與國研院國儀中心共同四維掃描穿透式電子顯微鏡實驗室」,以下簡稱「四維掃描電鏡實驗室」,係由國科會A世代前瞻半導體專案計畫支持建置並由A-Core Plus計畫支持營運之技術服務平台。
計畫主持人擁有三十年的光子/電子散射研究經驗,並建立了台灣最先進的散射(繞射)量測與計算實驗室與團隊。本實驗室建置目標為提供頂級科研工藝，支援台灣最高解析度之產學技術服務需求,打造創新的合作研究平台，並與現有貴儀系統做出分析範圍與技術之互補區隔，促進高教與前瞻產業技術鍊結，以期建立可永續經營的運作模式。
核心技術
「四維掃描電鏡實驗室」擁有全國最先進的像差修正掃描穿透式電子顯微鏡、直接電子偵測器系統、奈米離子源減薄系統的整合平台，在樣品處理、影像收取、數據分析三大方面滿足產學研對高階電子光學顯微結構分析的需求，包含樣品非晶質損害處理、超高解析度(深埃等級)影像、輕元素分析、應力及電場分布分析等，傳統電子顯微鏡無法提供之國際領先技術服務。
運作模式
「四維掃描電鏡實驗室」的運作模式可分為兩種模式。用戶與管理人員進行實質討論後，分流採用非客製化服務或客製化服務。非客製化服務採用傳統以影像數量計費模式，而客製化服務則以合作申請與執行科研計畫方式進行。
 
產業應用
「四維掃描電鏡實驗室」鎖定用戶為：
  1. 需要深埃解析度(<50 pm)進行結構鑑定之用戶。
  2. 需要利用回復相位演算法進行輕原子定位之用戶。
  3. 需要利用電子偏移進行電性量測之用戶。
  4. 需要利用繞射點偏移進行應變分析之用戶。
目前已開展的運用場景
  1. 超高解析度4D-STEM鑑定輕元素(氧)與離子佈植摻雜元素在第四代半導體氧化鎵磊晶中的原子位置。
  2. 超高解析度4D-STEM解析經典反鐵電系統在moire超晶格的影響下的原子位移與vortex行為。
  3. 利用4D-STEM分析鋁合金析出強化相變化顯微結構演化行為與應變分布。
  4. 結合PED應力分析與4D-STEM確認量測之正確性。
實驗室主持人
(A-Core Plus子計畫主持人)
陳健群 Chien-Chun Chen
► 研究領域 : 同步輻射、電子顯微鏡、散射物理、影像計算分析技術
► 研究專長 : 繞射相位回復、三維成像計算、四維掃描電鏡、深度學習影像分析
► 辦公室：清華大學工科系315室
► 電話：+886-3-5715131#34367
► 電子信箱：ccchen0627@gmail.com
實驗室主持人
蕭健男 Chien-Nan Hsiao
► 研究領域 : 合金相變化、真空科技
► 研究專長 : 穿透式電子顯微鏡儀器工程、電子繞射晶體結構解析、先進薄膜製程與設備技術發展
► 辦公室： 國研院國儀中心208室
► 電話：+886-3-5779911#180
► 電子信箱： cnhsiao@niar.org.tw
實驗室聯絡窗口
曹淮宇
► 電話：0936875150
► 電子信箱：hy960731@gmail.com
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